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直線電機驅(qū)動的H型氣浮導(dǎo)軌運動平臺

直線電機驅(qū)動的H型氣浮導(dǎo)軌運動平臺

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:83380 | 大。708.09KB | 下載:4886 次 | 上傳:2013-05-14

簡介:

建立了雙邊直線電機驅(qū)動的H 型氣浮精密定位平臺,對該精密定位系統(tǒng)的氣浮導(dǎo)軌設(shè)計方法和雙邊直線電機同步運動控制等關(guān)鍵技術(shù)進行了研究。利用有限元法設(shè)計了氣浮導(dǎo)軌,分析了氣膜壓力場的分布情況,采用預(yù)加載技術(shù)提高氣浮導(dǎo)軌的承載能力和剛度等性能。靜態(tài)特性實驗表明,開發(fā)的定位平臺氣浮導(dǎo)軌具有較高的承載能力和剛度, X 、Y導(dǎo)軌的豎直方向靜剛度為276. 9 N/μm 和333. 3 N/μm。設(shè)計了基于同步速度偏差的改進型并聯(lián)結(jié)構(gòu)同步控制器,采用模糊控制實現(xiàn)PID 參數(shù)的自適應(yīng)在線整定。運動實驗表明,改進的控制器具有

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