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電機設(shè)備總體結(jié)構(gòu)及其運行概述

電機設(shè)備總體結(jié)構(gòu)及其運行概述

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:81757 | 大。27.50KB | 下載:5858 次 | 上傳:2013-07-30

簡介:

近年來,隨著微/納米技術(shù)的迅猛發(fā)展,對驅(qū)動精度的要求在納米級的水平。在光學(xué)工程、微電子制造、航空航天、超精密機械制造、微機器人操作、地震測量、生物、醫(yī)學(xué)及遺傳工程等技術(shù)領(lǐng)域的研究都迫切需要亞微米級、微/納米級的超精密驅(qū)動,因此,各種微特電機得到了快速的發(fā)展。

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